��ࡱ�>�� ac����`��������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������) �R�.@bjbj����8Z��4h��4h  �������N N ������������86Dz���,�>>>>>rrr>,@,@,@,@,@,@,$g/�2Hd,-�rrrrrd,��>>4�,� � � r��>�>>,� r>,� � ��'h�(>������ *�����j�(*,�,0�,.(|e2�Be2 �(�(8e2��(Hrr� rrrrrd,d,@ Lrrr�,rrrr��������������������������������������������������������������������e2rrrrrrrrrN b �: 2022t^Ym_lw�yf[�b/gVYlQ:yPg�e N0y��v T�y� �yce6R �'Ypenc��TR�gN�Ns^�SsQ.��b/gxvz�S�^(u �N0�cP�USMO�S�cP�I{�~ �cP�USMO�mg�]^�Nl?e�^ �cP�I{�~�Ym_lw�y�bۏek�NI{VY N0y��v�{�N b�VhQb��[�e'Ypenc0zf��6R �beu�R�R6R �Nؚ(�ϑ�SU\0�V�~ ONpeW[S6R ��TL�Ns^�SS g�R ��z�� 6R �Ǐ z�R��TpeW[S�{t �vh ����[�yce�]N(W6R�T�v �_�Am�R��0GWa�u�N��0(�ϑ���n�� �vsQ.��yf[� �_U\�N�|�~�meQ�vxvzN�|�~�~bR�e �xvz�N�W�NirT�Q�vf�����Yzf��a�w�b/g0�W�NQ�~��R�v�yce6R �L�N�]N(W6R�T6R ��b/g0Y�npenc��T�vf���pencR�g�S�SƉS�b/gI{sQ.��b/g ��z4x�NN�|R�b/g���� �x6R�NwQ g�;N�wƋ�NCg�v�yce�]N�R��vOwmpeW[6R ��|�~�TpeW[f���zf��a�w0��T�S�SƉS�]Ns^�S �v^�c�Q�NM�WY�v�]N㉳Q�eHh �(WsQ.��b/g�T�|�~Ɩb N g͑'YR�e ��b/g�~Nmch��0R�VE�HQۏ4ls^0;N���b/gR�e�Y N� N0x�S�N�W�NirT�Q�vf�����Yzf��a�w�b/g �;eKQ�N_�gQ�~�N��NT����� ��[�s�N��YAm4l�~MOnAm�R�Oo`penc0‰Km��YЏl��v�r`penc0q_�TAm4l�~u�NHe�s�v��^penc�v�NT��N�0 �N0x�S�NN�y�W�NQ�~��R�v�yce6R �L�N�]N(W6R�T6R ��b/g ��[�eR�g�yce6R �Ǐ z-NT�]�^�v���b0peϑ0�e��0ZP�]I{�� } �㉳Q(W6R�T�{t0�N���t��Ƌ+R0��USߍ*�I{f����{t���� ��O���N�yce6R �ONGWa�u�N0(�ϑ���n0 N0x�S�NY�npenc��T�vf���pencR�g�S�SƉS�b/g �㉳Q�Npencnm0pench��_�Tpenc��TI{���� ��[�s�N�cGS�|�~eP�^�r`�vzf���vKmNċ0O �:N�yce6R �ON�v�[hQЏL��c�O�O��0 xvzb�g�cCg�o'Y)R�NI{�VY�SfN)R1�N0-N�V�SfN)R12�N �o��NW�\OCg21�N �NW�3� �YePg1� �EI/SCI���e20�{0 �V0;N���wƋ�NCg�Th�Qĉ�I{�vU_ �^�S�wƋ�NCg{|+R�wƋ�NCgwQSO T�y�V�[ �0W:S ��cCg�S�cCg�egCg)R�N�Sf�N1�Sf N)RN�y�W�NQ�~��R�v�yce6R �L�N�]N(W6R�T6R ��e�l-N�VZL202011298635.62021.02.26mg�]Owm�Oo`�|�~ gP�lQ�S\ST�~0H�OtQ0�O�0 _�\u0�^s^0��g�[0hgIQf0���z�e2�Sf N)RN�yf��^�vKm(u�] z���Rs^�S-N�VZL201710195547.52018.12.075��]'Yf[Ng?epg0Ng\�l0Ğwm~g0UNOp0\gޘ��0"�8l�^3�Sf N)RN�y�z_f��^(uXb�gSO-N�VZL201710197957.32018.12.075��]'Yf[Ng?epg0Ng\�l0Ğwm~g0UNOp0\gޘ��0"�8l�^4�Sf N)RN�y&^n� _'}�T�_��fbcňn-N�VZL201610174134.42019.02.225��]'Yf[H�8lMR0Ng\�l0"��^u0 �fs� V n � � � � � �  $ & ( * 2 R Z j p t v � � ������������������������ͿͿ��Ϳ����������񲥥���������h�1%CJOJQJo(h�1%h�1%CJOJQJo(h�leh�9�CJOJQJh�leh:W$CJOJQJh�phu:�CJOJQJo(h:W$hu:�CJOJQJo(hu:�CJOJQJo(h:W$CJOJQJo(h:W$h:W$CJOJQJo(7� � � � � �    L � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 0 4 8 < R � � � � � � � � ��������������������������������������綨���}h�5�CJOJQJh�Meh�9�5�CJOJQJo(h�Meh�G�5�CJOJQJo(h�.hi CJOJQJo(h�.CJOJQJh�h�CJOJQJo(h�pCJOJQJo(h�1%h�1%CJOJQJo(h�leh�9�CJOJQJh�1%CJOJQJo(-� � �  "&(.08:@BHJLNPTVZ\����������"$&(*.046PRVXxz�����������������������������������������������������������������������������������������������������h�h�5�OJQJaJh�h�5�OJQJaJo(h�h�5�OJQJaJh�5�OJQJaJo(N(0:BJ�����$$G$H$Ifa$gd�e[l� �JL�kd$$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��TLPV\�����$���������$$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�e[l� � $&�kdL$$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��T&*06RXz������������$$G$H$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�e[l� � ���kd�$$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��T������0:j���������$$G$H$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�e[l� � �����.08:@BHJPRXZ`bhjlnptvz|����������  <>BDdfz|�����������������:::::>:@:B:D:F:J:L:���������������������������������������������������������������������������������������Uh�h�h�5�OJQJaJh�h�5�OJQJaJo(Wjl�kd�$$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��Tlpv|����� ���������$$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�e[l� �  �kd0$$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��T >Df|�����������$$G$H$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�e[l� � ���kd|$$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��T�������::@:���������$$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�e[l� � 20.12.085��]'Yf[W�~NS0Ng\�l0Y.TX�_^X0��^�Q7�Sf N)RAdaptive Neural Network Control Method For Arch-Shaped Microelectromechanical System�o'Y)R�N20181007102018.06.285��]'Yf[W�~NS0Ng\�l0hg‰P�0PHUNG Trandinh8���eASPIE: A Framework for Active Sensing and Processing of Complex Events in the Internet of Manufacturing Things^t�XDoi: 10.3390/su100306922018.03.045��]'Yf[Ng\�l0H�OtQ0�pg0��^�Q9���eUsing Deep Learning to Detect Defects in Manufacturing: A Comprehensive Survey and Current Challenges. Materials^t�XDoi:10.3390/ma132457552020.09.165��]'Yf[hgY�0Ng\�l0�s�0c�j�10���eNonlinear hyperparameter optimization of a neural network in image processing for micromachines.Micromachines^t�XDoi:10.3390/mi121215042021.11.305��]'Yf[�lff0hgY�0Ng\�l0 _�[`�N0;N���[b�N� \ST�~0H�OtQ0Ng\�l04TtQ'\0hgY�0 _�[`0 _�\u0Ğwm~g mQ0;N���[bUSMO� mg�]Owm�Oo`�|�~ gP�lQ�S�5��]'Yf[     @:B:�kd�$$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��TB:F:L:R:�:;;2;<;r;���������$$G$H$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�e[l� � L:P:R:�:�:�:;;;;&;(;0;2;:;<;p;r;t;v;x;|;~;<Z<\<`<b<l<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�=�=�=�=�=�=�=�=>>>>*>,>.>2>4>8>:>N>????H?J?^?`?h?j?�?�?�?��������������������������������������������������������������������������h�hOAl5�OJQJaJo(h�h�h�5�OJQJaJo(h�h�5�OJQJaJJr;t;�kd $$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��Tt;x;~;\<b<�<�<�<�<��������$$G$H$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�e[l� ��<�<�kd` $$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��T�<�<�<�=�=�=>>,>��������$$G$H$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�e[l� �,>.>�kd� $$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��T.>4>:>??J?`?j?�?��������$$G$H$Ifa$gd�l� �$$G$H$Ifa$gd�e[l� ��?�?�kd� $$IfT�9���ִ%�>���t��&����� �1���������0��������'� ��������� ��������� ��������� ��������4�4� 9a�^�yt��T�?�?�?�?�?�?�?�?�?�?�?�?�?�?�?�?@@@@@@@@@ @"@$@&@(@*@,@.@��ξξ�����}��meaaeaaeaaeaaamhQASjhQASUh7Ulh�#CJOJQJaJo(h7Ulh�9�5�CJOJQJaJ"h7UlhI.\5�CJOJQJaJo("h7Ulh�9�5�CJOJQJaJo(hK7�CJOJQJaJo(hK7�hK7�CJOJQJaJo(h�'�h�'�CJOJQJaJo(h7Ulh�le5�CJOJQJaJ"h7Ulh�le5�CJOJQJaJo( �?�?�?�?@@@@@"@$@(@*@,@.@��������������gdm+� �0WD�`�0gd�'� �0WD�`�0gd� �G$H$gd� �61�82P:p7Ul��. ��A!�8"�8#��$��%��S�� ��J$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/�  �/� �/� �4� 9a�^�yt��TJ$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/� �/� �/� �4� 9a�^�yt��TJ$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/� �/� �/� �4� 9a�^�yt��TJ$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/� �/� �/� �4� 9a�^�yt��TJ$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/� �/� �/� �4� 9a�^�yt��TJ$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/� �/� �/� �4� 9a�^�yt��TJ$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/� �/� �/� �4� 9a�^�yt��TJ$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/� �/� �/� �4� 9a�^�yt��TJ$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/� �/� �/� �4� 9a�^�yt��TJ$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/� �/� �/� �4� 9a�^�yt��TJ$$If�^�!vh#v#v�#v� #v1#v�#v�#v�#v�:V �9���0��������',�5�5��5�� 5�15��5��5��5��/� �/� �/� �/� �/� �/� �/� �4� 9a�^�yt��Tx66666668���� 0@P`p������6888 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p��8X�V~�������� 0@�� 0@�� 0@�� 0@�� 0@�� 0@�� 0@�� 0@�� 0@�� 0@�� 0@�� 0@�� 0@�� 0@66666 OJPJQJ_HmH nHsH tHJ`��J ck�e $1$a$ CJKH_HaJmH nHsH tH^^ h�� 4'dt�XD[$�"YD\$$$@&CJOJPJQJ5�$A ���$ ؞���k=�W[SO�i@���� nf�h����C���ݓ�v�U�A ��6F�������͌�n�|Q�sAX\�� ���>�8�����O����( �b\�'X�77?��ڐ!����@5?�2�XY}XF�Kp ���GH�%V�ވ�� �����b�������׫��|���G_���9�Ѣ`(�B-�)�( ������b"�{G��|07`�]�P�EB�_�?����1�r��!��?S���`��m�-�ʥ�V�_�\ĵ��J�������NS.���j�4����Cw��\+ZxC��筲�����/-���x��kP�//����z�֯A)���������_�BJ���P��5f�� CF����r�]]�*�Q� Yv)C�e��C��P@�$�=9I��!�_�������vHB�%(fV ��va ��ߒ���602�- "�O�9IdͿ Z}r�����'�=y�����S�Z�%�����{��W�<����wo�~���� omͩv�{����_�8}���:�oq�3�]a���c�.�`���/&� 1%��@�)+�-Z� �ȁ�cۏ�9T����"� �X��;adw�uƝ^��ln���m��M�]��\�(���'Pb�Ke#���b�c�{l��cw���K�� 6����q��KzV6�B�$��L\!ޖov�{uF]�n�# ���]L-7�Bc�"��.����$C�΄�M\KH�t�)�Z,�Kf��~���APܜaߥ��FrIF.�;�1�d�F��ą�84����(��t�w����k�����>�V�Ϯ��š��Qw���[�Y�ۙ�!®R��#��nq�̎�8�R{c���c�ާu�X>�I���lcWb�Fv��� ���f�N�a�ll ���\ᙠ8B|��=����V������>�L��I���}:��^�� DVS��n��<�<���s<� �/,�ݔy�o��Z��"���-�X��ETs�bc���~h�0�pd�<����F��7���q��sG��qǭتUt�Ւ��fn~�i0> �L�D��CY,XW#��H���G�e��� �lܸd|0������d���uޑ��C�h�ϐPڑ�w�>��ufІE%��=qv���Q�90`����Ǚ��Ȱ����R���@x pf�������]6H�:�Eu��vV�d�^(g�pL%St���e�5�@��(ً�0��$�$��E�$}� Ns��;{/,�,�+��P-�jYT�����k~�" �q0�T��PϢ���>#�̙V��=ˀ<�����ݥ�v�H[$�t�Ih��O��-x��j�<4.��<�=� mR+�Q��.��5��������qͯ��!e�(��C82��Q�#�W.Dx�җ<}�/SY.d�0u�.:i5���ܣ$��j�Yh�k��V\�����[��򡑃��A��!�K3�Ɗ�tz >�λZ��`%���N88�zt��"H�r��8 ^So� � Y�s�iZv�wQ:��uD�M;�Y�S�.�}������j�d�{�j��S�n�u���Ү{���Q4�iU�5�U̲0ks��\�7X�\ 5���i�/��Z77'd]����u�� j�1��b�X�U͞�ڽc��3���IU�2S;緬G8���:?��g-, gs���~un��f�C(M�r�T Jxi� D=�deC�n� ��PK! ѐ��'theme/theme/_rels/themeManager.xml.rels��M �0���wooӺ�&݈Э���5 6?$Q�� �,.�a��i����c2�1h�:�q��m��@RN��;d�`��o7�g�K(M&$R(.1�r'J��ЊT���8��V�"��AȻ�H�u}��|�$�b{��P����8�g/]�QAsم(����#��L�[������PK-!����[Content_Types].xmlPK-!�֧��6 0_rels/.relsPK-!ky���theme/theme/themeManager.xmlPK-!�R���theme/theme/theme1.xmlPK-! ѐ��'� theme/theme/_rels/themeManager.xml.relsPK]� (Z���� jj � � �L:�?.@ #+JL$&��jl  ��@:B:r;t;�<�<,>.>�?�?.@ !"$%&'()*,�@� @��������� ��0�( � ��B �S ���� ?��H��0�( � �235?ALQ\]c~��������������������    (*.Ffr����������8:>Kko}�����������  #%~�������.0TXkm����o������������  >B[^fnsv��PS��o����� 3333333333^b�%&.Gf�������6>Lp�����!)~�.Yin��� ����   79??IK����y�Y�y�Y���F�F�@w�J4>rx����������`|֙�y����������"�}�������������%o(00  �p���^�p`���5CJo(0� �H�\�^�H`�\��h�H)� ���\�^��`�\��h�H.� ���\�^��`�\��h�H.� �4�\�^�4`�\��h�H)� �� �\�^�� `�\��h�H.� �| �\�^�| `�\��h�H.� � �\�^� `�\��h�H)� ���\�^��`�\��h�H.�h���^�h`���o(.� �H�\�^�H`�\��h�H)� ���\�^��`�\��h�H.� ���\�^��`�\��h�H.� �4�\�^�4`�\��h�H)� �� �\�^�� `�\��h�H.� �| �\�^�| `�\��h�H.� � �\�^� `�\��h�H)� ���\�^��`�\��h�H.���0�^��`�0�B*^J o(ph� �� �H�\�^�H`�\��h�H)� ���\�^��`�\��h�H.� ���\�^��`�\��h�H.� �4�\�^�4`�\��h�H)� �� �\�^�� `�\��h�H.� �| �\�^�| `�\��h�H.� � �\�^� `�\��h�H)� ���\�^��`�\��h�H.y�Y��F�`|�"�}@w�J������������������������(�\�        \R�        �6!        |B`�Sd�HAl���kF�yc.�t�9i Gt u � � gl �h:k�pf�r8�;�A�U�YpI���y�&�/�M� o �D"�#�#�s#:W$�^$�1%7 'V:)�K-�.#1�P1d1�%6T7o8M8b+:+;�8@�B MEQE�WEBQGVeG�$IE7M�tN2N}{���V��e����@��G�)�m�A7��2��U��h��-��A��"��3�"�� ���0�lk�N+�)q��B��`����<��O�9+��;���zr�8�c�g  �@ �����(���:��Unknown������������ G��.�[x� �Times New Roman5��Symbol3.� �.�[x� �Arial;���(�[SOSimSun7.��.�{$� �Calibri;=�� ���|�8ўSOSimHei9,����|�8I{�~ Light?=� �.�Cx� �Courier New?�����|�8I{�~DengXian-=�� ���|�8wiSOA����$B�Cambria Math ���Qh̢�̢�3�3�!Z&!),.:;?]}����    & 6"0000 0 0 00000��� � �����=�@�\�]�^���([{�  0 0 00000��;�[�����8�i��K�Q��P �� $P�����������������������qf2! xx�wa�Z ���86155 Ansi Zhang      �� �����Oh��+'��0\������� ��  $ 0<DLT�86155 Normal.dotm Ansi Zhang5Microsoft Office Word@�V�@���*�@ğ� *�3��� ��՜.��+,��D��՜.��+,���� X`lt|� ����� d ?GKSOProductBuildVer�2052-11.1.0.9662  !"#$%&'()*+,-����/012345����789:;<=>?@ABCDEFGHIJKLMNO����QRSTUVW����YZ[\]^_��������b������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������Root Entry�������� �F � *�d�Data ������������.1Table����6�2WordDocument����8ZSummaryInformation(������������PDocumentSummaryInformation8��������XCompObj������������n������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������ ���� �FMicrosoft Word 97-2003 �ĵ� MSWordDocWord.Document.8�9�q